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发表于 2013-1-26 19:34:40 | 显示全部楼层 |阅读模式

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这是以前做的一款,同时针对此款产品做得试验。大家猜猜看:是什么产品,和什么试验的?
DSCN6508.JPG

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 楼主| 发表于 2013-1-27 10:38:36 | 显示全部楼层
这是一款铝合金产品,用在生产半导体晶圆设备的反应腔里,最大的性能要求是耐蚀性。
接下来的试验就是质量、工艺的事了。
发表于 2013-1-27 15:27:32 | 显示全部楼层
反应腔里是对晶圆做什么呢?是对晶圆进行封装吗?
 楼主| 发表于 2013-1-27 15:34:22 | 显示全部楼层

这个是生产晶圆的设备里的反应腔,是属于半导体行业最上游的,给老美应用材料供货的
发表于 2013-1-27 15:46:08 | 显示全部楼层
不系统的质量 发表于 2013-1-27 15:34
这个是生产晶圆的设备里的反应腔,是属于半导体行业最上游的,给老美应用材料供货的 ...

哦,明白,这是设备上的一个关键配件。我想除了对耐腐蚀性方面有较高求外,耐高温要求也不低吧,他的生产过程是化学反应还是物理反应呢?

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 楼主| 发表于 2013-1-27 16:33:47 | 显示全部楼层
gaoshengxian 发表于 2013-1-27 15:46
哦,明白,这是设备上的一个关键配件。我想除了对耐腐蚀性方面有较高求外,耐高温要求也不低吧,他的生产 ...

在铝合金表面进行阳极处理,形成一层致密的氧化膜,耐蚀性要求非常高(其他的物理尺寸也很重要)。因为是个不规则形状,整个腔体在阳极过程中,不同部位处理的效果稍有差异
发表于 2013-1-27 22:27:31 | 显示全部楼层
这个对于我们做机械加工的,还是挺陌生的,有空楼主可以分享一下这方面的加工工艺或者是质量控制要求等方面,学习一下{:soso_e181:}

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 楼主| 发表于 2013-1-27 22:28:32 | 显示全部楼层
andyjin 发表于 2013-1-27 22:27
这个对于我们做机械加工的,还是挺陌生的,有空楼主可以分享一下这方面的加工工艺或者是质量控制要求等方面 ...

这个处理的前一个工序就是机加工
发表于 2013-1-27 23:19:28 | 显示全部楼层
不熟悉,来看看!

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发表于 2013-1-28 11:40:26 | 显示全部楼层
不系统的质量 发表于 2013-1-27 16:33
在铝合金表面进行阳极处理,形成一层致密的氧化膜,耐蚀性要求非常高(其他的物理尺寸也很重要)。因为是 ...

对硬度有要求吧

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